檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "李維楨".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="趙振綱"
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本論文將利用全像術干涉微影技術、軟式微影技術以及微模轉印技術在雙通道高分子波導濾波器上製作非對稱布拉格耦合元件(asymmetric Bragg coupler based filters, ABC…
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焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜，及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…
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本研究在研製複合型光學微結構以提供較佳之導光性能，主要是利用微機電系統技術(Micro -Electro-Mechanical System, MEMS)配合光學司乃耳定律(Snell’s Law)…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應，將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程，利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源，經由Agilent 34970A資料蒐集交…
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鋯鈦酸鉛(PZT)焦電薄膜感測器利用焦電效應，將溫度變化轉成焦電訊號。焦電感測器之焦電響應成為感測器優劣之重要指標，而影響焦電響應因素有吸收層厚度與材質、焦電層薄膜品質、隔熱層材質與厚度、基材種類與…
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標，其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質，而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…
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本研究主要以近接曝光微影術（UV-proximity printing）來進行製作微光學元件：微透鏡或微透鏡陣列、光波導。另外，以田口方法穩健化設計結合類神經網路(ANN)和基因演算法(GA)建立高…